1納米是一根頭發(fā)絲的8萬分之一，而小于1納米則被稱為亞納米──這是國防科大精密工程創(chuàng)新團(tuán)隊(duì)在超精密光學(xué)零件加工中創(chuàng)造的“中國精度”，有力支撐了“極大規(guī)模集成電路制造裝備與成套工藝”等3個(gè)國家重大科技專項(xiàng)創(chuàng)新突破，3年來為國家創(chuàng)造直接經(jīng)濟(jì)效益2億多元。近日，該校研制兩種超精拋光裝備通過國家重大科技專項(xiàng)驗(yàn)收。

　　超精密加工是以高精度為目標(biāo)的先進(jìn)制造技術(shù)，納米精度被譽(yù)為超精密加工技術(shù)皇冠上的明珠，西方發(fā)達(dá)國家將其視為戰(zhàn)略資源，嚴(yán)格限制出口。面對(duì)我國光學(xué)零件制造水平的窘境，國防科大精密工程創(chuàng)新團(tuán)隊(duì)在李圣怡教授率領(lǐng)下，跳過一、二代光學(xué)零件制造加工技術(shù)，直接瞄準(zhǔn)基于可控柔體制造的第三代光學(xué)加工方法開展攻關(guān)，在國內(nèi)首次研制出擁有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的磁流變、離子束兩種超精拋光裝備，創(chuàng)造了我國光學(xué)零件加工亞納米的“中國精度”奇跡，使我國光學(xué)自動(dòng)化加工技術(shù)及工藝一躍進(jìn)入世界先進(jìn)水平，成為繼美、德之后第三個(gè)掌握高精度光學(xué)零件制造加工技術(shù)的國家，也是目前世界上唯一同時(shí)具有磁流變和離子束拋光裝備研發(fā)能力的國家。

　　近3年來，該團(tuán)隊(duì)與中科院、中國航天科技集團(tuán)、中國航空工業(yè)集團(tuán)等合作，推動(dòng)我國空間光學(xué)、高端裝備制造發(fā)展，自主研制出兩大類7個(gè)型號(hào)的磁流變和離子束拋光機(jī)床，為“極大規(guī)模集成電路制造裝備與成套工藝”“高分辨率對(duì)地觀測(cè)系統(tǒng)”等3個(gè)國家重大科技專項(xiàng)提供技術(shù)保障和裝備支撐，解決了一系列制約其創(chuàng)新發(fā)展的技術(shù)難題。團(tuán)隊(duì)先后獲得科技部重大科技專項(xiàng)頒發(fā)的“突出貢獻(xiàn)獎(jiǎng)”和“突出成果獎(jiǎng)”。